【用語解説】膜厚測定器（まくあつそくていき）とは

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膜厚測定器（まくあつそくていき）とは

膜厚測定器とは、薄膜の厚さを測定するための機器です。
薄膜は、化学物質を蒸着させたり、塗布したり、スパッタリングしたりして形成されます。
膜厚測定器は、このような薄膜の形成や品質管理に必要な測定を行うために用いられます。

膜厚測定器には、主に以下のような種類があります。

1. 1. プローブ式膜厚計
      測定対象の表面に直接プローブを接触させて測定するタイプです。
      薄膜の厚さが均一である場合に最も正確な測定が可能です。
   2. ノンコンタクト式膜厚計
      光学的な方法や電磁波を利用して、薄膜の厚さを測定するタイプです。
      測定対象に接触しないため、測定対象の表面に傷をつけたり汚染したりすることがありません。
   3. X線膜厚計
      X線を照射し、薄膜に含まれる元素から放出される特定のX線を検出することで、薄膜の厚さを測定するタイプです。
      測定範囲が広く、測定精度も高いため、工業用途に広く使用されています。

膜厚測定器は、半導体製造や電子部品製造、化学工業などの分野で広く使用されています。
薄膜の厚さを正確に測定することで、製品の品質管理や製造工程の改善に役立てることができます。

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